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●高解析度
●反應快速
●外型輕巧
●斷電定位保持
●不受外部磁場干擾
●可選購真空型電機
速度250 mm/sec
分辨率5 nm 有效推力8N 保持力6N (參考值) 剛性1.8N/μ 施于滑座之預力40N 尺寸12.7mm×25.7mm×40.5mm 重量40gr 工作溫度(可選購較大範圍)0 至 +50°C 儲存溫度-20 至 +70°C 濕度80%
半導體設備、真空環境、車用儀表板、后視鏡、車門鎖、編織機、硬碟機、磁碟機、CD、DVD、顯微鏡、投影機、相機、醫療器材、 精密量測及精密定位控制上。
壓電陶瓷馬達
上海微敏自控技術有限公司