二維增量式平面光柵尺
簡介:
1、二維線性測量光柵尺
2、光柵週期20 µm,玻璃盤
3、測量範圍可達105 x 89 mm(更大可以定製)
4、測量角度範圍 可達 ±10’
5、細分 為×100,細分電路在15pin Sub-D接頭內
6、讀頭尺寸精巧
7、多種安裝方式
8、高分辨率、高精度
9、高細分精度,信號可自動調整l
10、每個測量方向一個原點信號
技術參數:
機械參數:
1、讀頭重量:17g (不含線)
2、可選分辨率:0.05µm、0.1µm、0.2µm、0.5µm、1µm、5µm
3、速度參數:
無細分電路--max. 600 m/min --->10 m/s
細分數x50--max. 96 m/min --->1.6 m/s
4、測量範圍:
長度--105 x 89 mm(更大可以定製)
角度--±10’
5、測量標準:
材質--玻璃,厚度1.1mm
柵距--20 µm
參考信號位置--測量行程的起點處
6、線性膨脹係數:8.5x10-6K-1
7、精度等級:± 5 µm
電子參數:
1、掃描頻率:max. 500 kHz
2、輸出信號:
電壓輸出--1 VPP
方波輸出--RS 422(無細分)、RS 422 (×100 細分)
3、電源:5V ± 10%
4、電流損耗:
電壓輸出--80mA 每相
方波輸出--200mA 每相
5、線長:
固定線長--最長3m
總長-- 100m(延長線)
使用環境:
1、使用溫度:0°C .. +55 °C
2、儲存溫度:-20°C .. +70 °C
3、濕度:93% RH (無冷凝)
光柵讀頭尺寸圖:
光柵盤尺寸圖:
安裝方式:
主要市場 |
金屬加工設備 半導體設備 生物,醫療設備
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