二维增量式平面光栅尺
简介:
1、二维线性测量光栅尺
2、光栅周期20 µm,玻璃盘
3、测量范围可达105 x 89 mm(更大可以定制)
4、测量角度范围 可达 ±10’
5、细分 为×100,细分电路在15pin Sub-D接头内
6、读头尺寸精巧
7、多种安装方式
8、高分辨率、高精度
9、高细分精度,信号可自动调整l
10、每个测量方向一个原点信号
技术参数:
机械参数:
1、读头重量:17g (不含线)
2、可选分辨率:0.05µm、0.1µm、0.2µm、0.5µm、1µm、5µm
3、速度参数:
无细分电路--max. 600 m/min --->10 m/s
细分数x50--max. 96 m/min --->1.6 m/s
4、测量范围:
长度--105 x 89 mm(更大可以定制)
角度--±10’
5、测量标准:
材质--玻璃,厚度1.1mm
栅距--20 µm
参考信号位置--测量行程的起点处
6、线性膨胀系数:8.5x10-6K-1
7、精度等级:± 5 µm
电子参数:
1、扫描频率:max. 500 kHz
2、输出信号:
电压输出--1 VPP
方波输出--RS 422(无细分)、RS 422 (×100 细分)
3、电源:5V ± 10%
4、电流损耗:
电压输出--80mA 每相
方波输出--200mA 每相
5、线长:
固定线长--最长3m
总长-- 100m(延长线)
使用环境:
1、使用温度:0°C .. +55 °C
2、储存温度:-20°C .. +70 °C
3、湿度:93% RH (无冷凝)
光栅读头尺寸图:
光栅盘尺寸图:
安装方式:
主要市场 |
金属加工设备 半导体设备 生物,医疗设备
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