2016-04-20

上海微敏自控新推出双轴线性精密平台
规 格
•有效行程 100 mm
•编码器分辨率 50 nm / 0.1µm
•全行程 直线度 / 平面度 25mm / 2.5µm
• 负载 7Kg
•驱动力 32 N (使用 HR8马达)
•保持力 28 N (使用 HR8马达)
•外观尺寸 75mm x 175(±50)mm
•重现性 ±0.5µm 使用0.1µm 编码器 (标准)
±200nm 使用50nm 编码器 (可选)
•轴 X-Y